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300纳米的加工精度
极小的拼接误差，保证结构边缘平滑
高达每分钟300平方毫米的加工速度
技术原理：无掩模紫外投影（standard）
最小线宽：1 μm *
最大直写速度：≥30 mm²/min *
最大加工尺寸：100 mm x 100 mm
拼接精度：＜0.8 μm *
自动对焦：光学对焦
光源：405 nm/365 nm
*参数与物镜及光刻胶有关，可选配
服务热线：0535-2981985 
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