类型：Standard

最小线宽：0.8 µm

最小线间距：1 µm

边缘粗糙度：0.04 µm

结构均匀性：0.08 µm

对准精度（100*100 mm²）：0.6 µm

最大加工速度：75 mm² /min

最大曝光面积：100*100 mm²

光源LED/Laser：405/365 nm