跨尺度微纳三维制造及其光敏材料制造专家

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纳米级三维激光直写设备

基于多光子聚合原理的纳米级三维激光加工设备,将纳米级高精度与微纳3D加工完美结合,可实现跨尺度宏微结合的高精度微纳三维加工,满足工业级生产或科学研究设计建模的使用要求。


三维笼式细胞支架电子显微镜图


微透镜电子显微镜图

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超快激光微纳加工中心

可用于工业生产的增减材结合的超快激光微纳加工设备,可实现光刻胶材料的三维增材以及金属、合金、玻璃等材料的打孔、表面结构处理、选择性激光消融、改性等功能。具有高精度、超高速度、长时稳定性、大幅面加工等特点,可广泛应用于微纳光学、生物医学、半导体、光通信等行业领域。


埃菲尔铁塔电子显微镜图


金属钼蜂巢通孔显微镜图

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无掩模紫外激光直写设备

基于紫外光刻的无掩模激光直写光刻设备,无需掩模,具有高直写速度、高分辨率等特点,采用集成化设计、全自动控制,操作方便可广泛用于微流控、半导体、微电子等晶圆级的2D/2.5D微纳结构加工。


衍射光学元件电子显微镜图


电路板显微镜图

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